e/Thermal oxidation

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has glosseng: In microfabrication, thermal oxidation is a way to produce a thin layer of oxide (usually silicon dioxide) on the surface of a wafer (semiconductor). The technique forces an oxidizing agent to diffuse into the wafer at high temperature and react with it. The rate of oxide growth is often predicted by the Deal-Grove model. Thermal oxidation may be applied to different materials, but this article will only consider oxidation of silicon substrates to produce silicon dioxide.
lexicalizationeng: thermal oxidation
instance of(noun) a tetravalent nonmetallic element; next to oxygen it is the most abundant element in the earth's crust; occurs in clay and feldspar and granite and quartz and sand; used as a semiconductor in transistors
Si, silicon, atomic number 14
Meaning
German
has glossdeu: Die thermische Oxidation (von Silizium) ist in der Halbleitertechnik ein Beschichtungsverfahren, bei dem auf einem einkristallinen Siliziumsubstrat (beispielsweise einem Silizium-Wafer) eine dünne Schicht aus Siliziumdioxid aufgebracht wird. Es wird unter anderem bei der Herstellung von mikroelektronischen Schaltungen eingesetzt. Der Beschichtungsprozess basiert auf einer chemischen Reaktion von Sauerstoff und Silizium bei Temperaturen über 1100 °C. Bei sehr kurzen Prozesszeiten nennt man das Verfahren auch „Rapid Thermal Oxidation“ (RTO, dt.: schnelle thermische Oxidation), das zur Erzeugung von sehr dünnen Oxidschichten (< 2 nm) dient. Ein ähnliches Verfahren ist die Erzeugung einer thermischen Siliziumnitrid-Schicht auf einem Siliziumsubstrat bei hohen Temperaturen.
lexicalizationdeu: thermische Oxidation
Russian
has glossrus: Оксидирование кремния (Si) — процесс создания оксидной плёнки (диоксида кремния SiO2) на поверхности кремниевой подложки.
lexicalizationrus: Термическое оксидирование
Castilian
has glossspa: La oxidación es uno de los procesos básicos en la fabricación de circuitos integrados.
lexicalizationspa: Oxidacion en semiconductores
lexicalizationspa: Oxidación en semiconductores
Media
media:imgCentrotherm diffusion furnace at LAAS 0493.jpg
media:imgLOCOS birds beak DE.svg

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Word: (case sensitive)
Language: (ISO 639-3 code, e.g. "eng" for English)


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